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吉祥体育网页版:微芯片技能请求混合半导体晶圆及其构成办法专利供给混合Sipoly-SiC晶圆
来源:吉祥体育网页版    发布时间:2026-04-29 08:45:20
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  国家知识产权局信息数据显现,微芯片技能股份有限公司请求一项名为“混合半导体晶圆及其构成办法”的专利,公开号CN121941806A,请求日期为2024年4月。

  专利摘要显现,一种办法有对必定体积的碳化硅(SiC)粉末履行限制操作以构成多晶SiC(poly‑SiC)锭,以及将该poly‑SiC锭分红多个poly‑SiC晶圆基底。该办法还包含关于相应poly‑SiC晶圆基底,将硅(Si)晶圆结构键合到该相应poly‑SiC晶圆基底以限制混合Si/poly‑SiC堆叠结构;以及履行切割工艺以从该混合Si/poly‑SiC堆叠结构中移除Si晶圆结构的部分厚度以供给混合Si/poly‑SiC晶圆,该混合Si/poly‑SiC晶圆包含键合到该相应poly‑SiC晶圆基底的该Si晶圆结构的剩下部分。

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